(CMOS-NANO) ΚΡΙΣΙΜΕΣ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΕΣ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗΣ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ CMOS ΚΥΚΛΩΜΑΤΩΝ ΜΕ ΔΙΑΣΤΑΣΗ < 100nm ΣΕ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΛΙΜΑΚΑ

Κωδ. Έργου: 61165000
Ημ. Έναρξης: 01.12.2005
Ημ. Λήξης: 30.06.2009
Ημ. Έγκρισης: 08.02.2006
Σχολή: ΧΗΜΙΚΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ
Τομέας: ΑΝΑΛ. ΣΧΕΔ. & ΑΝΑΠ. ΔΙΕΡ. ΣΥΣ.
Χρηματοδότης: ΠΕΝΕΔ 2003, Γ.Γ.Ε.Τ.
Προϋπολογισμός: 10.510,00 €
Επ. Υπευθ.: ΚΑΘ. ΑΝΔΡΕΑΣ ΜΠΟΥΝΤΟΥΒΗΣ
Email: boudouvi@chemeng.ntua.gr
Περιγραφή: (CMOS-NANO) ΚΡΙΣΙΜΕΣ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΕΣ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗΣ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ CMOS ΚΥΚΛΩΜΑΤΩΝ ΜΕ ΔΙΑΣΤΑΣΗ < 100nm ΣΕ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΛΙΜΑΚΑ