| Κωδ. Έργου: | 61165000 |
| Ημ. Έναρξης: | 01.12.2005 |
| Ημ. Λήξης: | 30.06.2009 |
| Ημ. Έγκρισης: | 08.02.2006 |
| Σχολή: | ΧΗΜΙΚΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ |
| Τομέας: | ΑΝΑΛ. ΣΧΕΔ. & ΑΝΑΠ. ΔΙΕΡ. ΣΥΣ. |
| Χρηματοδότης: | ΠΕΝΕΔ 2003, Γ.Γ.Ε.Τ. |
| Προϋπολογισμός: | 10.510,00 € |
| Επ. Υπευθ.: | ΚΑΘ. ΑΝΔΡΕΑΣ ΜΠΟΥΝΤΟΥΒΗΣ |
| Email: | boudouvi@chemeng.ntua.gr |
| Περιγραφή: | (CMOS-NANO) ΚΡΙΣΙΜΕΣ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΕΣ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗΣ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ CMOS ΚΥΚΛΩΜΑΤΩΝ ΜΕ ΔΙΑΣΤΑΣΗ < 100nm ΣΕ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΛΙΜΑΚΑ |
